机译:HfO_2膜原子层沉积的垂直硅纳米管在pH传感中的应用
机译:用HfO2膜原子层沉积的垂直硅纳米管,用于pH传感应用
机译:具有自对准高k金属栅极的垂直夹层Gaa Fet,由准原子层蚀刻工艺制成
机译:通过原子层沉积钴/硅核壳纳米线退火形成硅化物纳米线
机译:基于快速光热过程的原子层沉积(ALD)系统对高性能栅极介电材料进行处理和表征。
机译:通过原子层沉积制备的具有Al2O3钝化膜的硅纳米线异质结太阳能电池
机译:使用原子层沉积改善硅纳米线阵列中载流子扩散长度
机译:垂直纳米线阵列的原子层沉积启用互连技术